هگزا متیل دی سیلازان یک ترکیب آلی-سیلیسیومی با فرمول شیمیایی  CH₃)₃Si]₂NH)] است که از واکنش آمونیاک با تری متیل سیلیل کلرید تشکیل می شود. این مایع بی رنگ، در واکنش های سنتز مواد آلی و آلی-فلزی به کار می رود. هگزا متیل دی سیلازان مایعی غیرخوراکی و سمی است که در صورت حرارت دیدن، به اکسیدهای سمی نیتروژن تبدیل می شود.

ویژگی های هگزا متیل دی سیلازان

• مایع بی رنگ
• محلول در حلال های آلی
• بسیار آتشگیر
• سوزاننده پوست و چشم
• خورنده
• بوی مشابه آمونیاک

موارد مصرف هگزا متیل دی سیلازان

• استفاده در واکنش تبدیل الکل به تری متیل سیلیل اتر
• استفاده در آنالیز کروماتوگرافی گازی برای افزایش فرکانس گروه های آلی
• عامل چسبنده برای فوتورزیست در لیتوگرافی نوری